參數 | 玻璃晶圓片規格 |
材料 | 玻璃、石英等 |
形狀 | 圓形 |
外徑 | 3”——12”寸等 |
外徑尺寸 | 76.2mm——300mm |
外徑公(gōng)差 | ±0.05mm |
厚度 | 0.1mm——2.0mm |
最小(xiǎo)厚度 | 0.1mm |
TTV | <3μm |
BOW | <20μm |
WARP | <30μm |
外觀質(zhì)量 | 20/10 |
粗糙度 | Ra<5nm |
倒邊 | 45°,C0.2+/-0.1mm |
* 備注:可(kě)以根據客戶需求定制 |
産(chǎn)品介紹:
通過對特殊材料進行高精(jīng)度的切割、研磨、抛光等冷加工(gōng)工(gōng)序,達到表面粗糙度≤1nm、TTV≤5μm等表面要求
技(jì )術特點及優勢:
冷加工(gōng)全制程:可(kě)提供4、6、8、12寸不同尺寸的産(chǎn)品
産(chǎn)品應用(yòng):
半導體(tǐ)襯底、半導體(tǐ)封裝(zhuāng)、半導體(tǐ)承載等高精(jīng)度領域
參數 | 玻璃晶圓片規格 |
材料 | 玻璃、石英等 |
形狀 | 圓形 |
外徑 | 3”——12”寸等 |
外徑尺寸 | 76.2mm——300mm |
外徑公(gōng)差 | ±0.05mm |
厚度 | 0.1mm——2.0mm |
最小(xiǎo)厚度 | 0.1mm |
TTV | <3μm |
BOW | <20μm |
WARP | <30μm |
外觀質(zhì)量 | 20/10 |
粗糙度 | Ra<5nm |
倒邊 | 45°,C0.2+/-0.1mm |
* 備注:可(kě)以根據客戶需求定制 |