光學(xué)産(chǎn)品

Optical products

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玻璃晶圓

産(chǎn)品介紹:

通過對特殊材料進行高精(jīng)度的切割、研磨、抛光等冷加工(gōng)工(gōng)序,達到表面粗糙度≤1nm、TTV≤5μm等表面要求


技(jì )術特點及優勢:

冷加工(gōng)全制程:可(kě)提供4、6、8、12寸不同尺寸的産(chǎn)品


産(chǎn)品應用(yòng):

半導體(tǐ)襯底、半導體(tǐ)封裝(zhuāng)、半導體(tǐ)承載等高精(jīng)度領域

參數

玻璃晶圓片規格

材料

玻璃、石英等

形狀

圓形

外徑

3”——12”寸等

外徑尺寸

76.2mm——300mm

外徑公(gōng)差

±0.05mm

厚度

0.1mm——2.0mm

最小(xiǎo)厚度

0.1mm

TTV

<3μm

BOW

<20μm

WARP

<30μm

外觀質(zhì)量

20/10

粗糙度

Ra<5nm

倒邊

45°,C0.2+/-0.1mm

* 備注:可(kě)以根據客戶需求定制

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